Machine à broyer les plaquettes

Machine à broyer les plaquettes

Machine à broyer les plaquettes

  • Cet équipement est principalement utilisé pour le prépolissage et le polissage de haute précision sur une seule face de pièces de précision minces telles que les substrats en saphir, les plaquettes épitaxiales en saphir, les plaquettes en silicium, les céramiques, les cristaux de quartz et d'autres matériaux semi-conducteurs.

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Détail

Caractéristiques :

1. Cet équipement est un équipement de broyage de précision unilatéral, qui adopte une structure mécanique et une méthode de contrôle avancées, avec une efficacité de broyage élevée et un fonctionnement stable.

2. L'ensemble de la machine adopte un système de contrôle PLC+écran tactile, qui est simple et pratique pour définir les paramètres de l'équipement et le faire fonctionner, et qui présente une grande stabilité du système.

3. Le moteur principal adopte une commande de vitesse à fréquence variable pour réaliser un démarrage et un arrêt en douceur de la machine principale, réduire l'impact du fonctionnement de l'équipement et réduire les dommages causés aux pièces.

4. La pression de meulage de la pièce adopte la pressurisation du cylindre, et le contrôle en boucle fermée de la pression est réalisé par le biais d'une vanne proportionnelle électrique pour garantir une précision et une stabilité de la pression extrêmement élevées.

5. La plaque de pression supérieure adopte un mode d'entraînement actif pour assurer l'uniformité du traitement de broyage à chaque station, tout en garantissant le taux de broyage du produit.

6. La plaque de broyage et la plaque de pression supérieure sont toutes deux équipées d'une fonction de refroidissement par eau, ce qui permet de réduire la déformation de la surface de la plaque de broyage tout en garantissant l'efficacité maximale du fluide de broyage.

7. L'équipement est équipé d'une machine de finition des disques, qui peut garantir une planéité de la surface du disque de 0,01 mm après la finition du disque.

Spécifications :

Modèle HN-610 HN-700 HN-910
Spécification du disque de meulage. Ø610*160*12,7mm Ø700*160*12,7mm Ø910mm
Diamètre du disque de la pièce à usiner Ø200mm Ø305mm Ø360mm
Pression du disque de la pièce 30~120kg 30~150kg 30~150kg
Méthode de la pression Pressurisation du cylindre Pressurisation du cylindre Pressurisation du cylindre
Pression d'air de travail 0,4-0,6MPa 0,4-0,6MPa 0,4-0,6MPa
Vitesse du disque de la pièce 5-60rpm(max) 5-60rpm(max) 5-60rpm(max)
Vitesse du disque de polissage 0-100 tr/min 0-100 tr/min 100rpm(max)
Puissance du moteur principal 4KW/380V 4KW/380V 7.5KW/380V
Puissance du moteur de la plaque de pression 0,4KW/380Vx4 0,4KW/380Vx4 0,4KW/380Vx4
Nombre de postes de travail 4 pièces 4 pièces 4 pièces
Dimension 1200x750x2050mm 1200x1700x2300mm 1650x1150x2200mm
Poids 1050KG 2000KG 2300KG

 

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