Cet équipement est principalement utilisé pour le prépolissage et le polissage de haute précision sur une seule face de pièces de précision minces telles que les substrats en saphir, les plaquettes épitaxiales en saphir, les plaquettes en silicium, les céramiques, les cristaux de quartz et d'autres matériaux semi-conducteurs.
Caractéristiques :
1. Cet équipement est un équipement de broyage de précision unilatéral, qui adopte une structure mécanique et une méthode de contrôle avancées, avec une efficacité de broyage élevée et un fonctionnement stable.
2. L'ensemble de la machine adopte un système de contrôle PLC+écran tactile, qui est simple et pratique pour définir les paramètres de l'équipement et le faire fonctionner, et qui présente une grande stabilité du système.
3. Le moteur principal adopte une commande de vitesse à fréquence variable pour réaliser un démarrage et un arrêt en douceur de la machine principale, réduire l'impact du fonctionnement de l'équipement et réduire les dommages causés aux pièces.
4. La pression de meulage de la pièce adopte la pressurisation du cylindre, et le contrôle en boucle fermée de la pression est réalisé par le biais d'une vanne proportionnelle électrique pour garantir une précision et une stabilité de la pression extrêmement élevées.
5. La plaque de pression supérieure adopte un mode d'entraînement actif pour assurer l'uniformité du traitement de broyage à chaque station, tout en garantissant le taux de broyage du produit.
6. La plaque de broyage et la plaque de pression supérieure sont toutes deux équipées d'une fonction de refroidissement par eau, ce qui permet de réduire la déformation de la surface de la plaque de broyage tout en garantissant l'efficacité maximale du fluide de broyage.
7. L'équipement est équipé d'une machine de finition des disques, qui peut garantir une planéité de la surface du disque de 0,01 mm après la finition du disque.
Spécifications :
Modèle | HN-610 | HN-700 | HN-910 |
Spécification du disque de meulage. | Ø610*160*12,7mm | Ø700*160*12,7mm | Ø910mm |
Diamètre du disque de la pièce à usiner | Ø200mm | Ø305mm | Ø360mm |
Pression du disque de la pièce | 30~120kg | 30~150kg | 30~150kg |
Méthode de la pression | Pressurisation du cylindre | Pressurisation du cylindre | Pressurisation du cylindre |
Pression d'air de travail | 0,4-0,6MPa | 0,4-0,6MPa | 0,4-0,6MPa |
Vitesse du disque de la pièce | 5-60rpm(max) | 5-60rpm(max) | 5-60rpm(max) |
Vitesse du disque de polissage | 0-100 tr/min | 0-100 tr/min | 100rpm(max) |
Puissance du moteur principal | 4KW/380V | 4KW/380V | 7.5KW/380V |
Puissance du moteur de la plaque de pression | 0,4KW/380Vx4 | 0,4KW/380Vx4 | 0,4KW/380Vx4 |
Nombre de postes de travail | 4 pièces | 4 pièces | 4 pièces |
Dimension | 1200x750x2050mm | 1200x1700x2300mm | 1650x1150x2200mm |
Poids | 1050KG | 2000KG | 2300KG |
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