La tecnología de unión de obleas consiste en unir estrechamente dos obleas pulidas, homogéneas o heterogéneas, mediante acciones químicas y físicas. Tras la unión de las obleas, los átomos de la interfaz reaccionan para formar enlaces covalentes que forman un todo y hacen que la interfaz de unión alcance una fuerza de unión específica.
Características:
Ventajas:
Especificaciones:
Tamaño de la cámara | ≤8 pulgadas |
Rango temp. | ≤300℃ |
Tiempo de reciclaje | 0-60min |
Tensión | 220V |
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