Die Anlage kann für das Präzisionsschneiden von 12-Zoll-Wafern und Verpackungskörpern für integrierte Schaltungen verwendet werden. Dieses Modell zeichnet sich durch vollautomatisches Be- und Entladen, automatische Ausrichtung mit zwei Linsen für hohe und niedrige Vergrößerung, Schneiden mit zwei gegenüberliegenden Spindeln, Reinigung und Trocknung mit zwei Flüssigkeiten usw. aus. Es kann die UV-Bestrahlungseinheit für den Verpackungsschnitt erweitern.
Merkmale:
2. Longmen Struktur, hohe Steifigkeit, gute Stabilität
3. Standard-Messerbrucherkennung, berührungsloses Höhenmessgerät, automatische Messermarkenerkennung
4. 60000 RPM Hochgeschwindigkeits-Luft-Statik-Elektrospindel unabhängig entwickelt und produziert
5. Vakuum-Energieeinsparung, Reduzierung des Vakuumgasverbrauchs
6. FRC-Funktion, präzise Steuerung des Wasserdurchflusses beim Schneiden, Gewährleistung der Schnittqualität
7. Schutz der Werkstückhaftung nach abnormalem Stromausfall
8. Die Sicherheitsverriegelung gewährleistet die Sicherheit des Bedienpersonals
Spezifikationen:
| Hauptachse | Strom | 1,8kW DC |
| Geschwindigkeitsbereich | 6000-60000U/min | |
| E-Achse | Ortungsgenauigkeit | ±15 " |
| X-Achse | Vorschubgeschwindigkeit | 0,1-1000 mm/s |
| Y-Achse | Einzelschrittgenauigkeit lx | ±0,002mm |
| Additionsfehler | <0,003/310mm | |
| Z-Achse | Wiederholgenauigkeit | 0,001 mm |
| Mikroskop | Multiplikationskraft | 7,5 Mal |
| Maximale Produktgröße | 300*300mm | |
| Dimension | 1310x1600x1860mm | |
| Gewicht | 2500kg | |
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